珠峰系列EverestGTS00SGT应用于14nm以上成熟制程ST1、ILD层平坦化,同时可根据客户使用要求进行定制化,如EverestGTS001GT、EverestGTS002GT、EverestGTS003GT具有更高的颗粒硬度,更小或更大的一次粒径,这些定制带来了MRR和选择比的个性化需求。
珠峰系列EverestGTS00SGT应用于14nm以上成熟制程ST1、ILD层平坦化,同时可根据客户使用要求进行定制化,如EverestGTS001GT、EverestGTS002GT、EverestGTS003GT具有更高的颗粒硬度,更小或更大的一次粒径,这些定制带来了MRR和选择比的个性化需求。